洁净室空气污染控制：高效雷竞技软件大全（HEPA）重要性及检漏方法和标准
洁净室空气污染控制：高效雷竞技软件大全（HEPA）重要性及检漏方法和标准
洁净室需要空气雷竞技软件大全，以防止污染物通过其暖通空调系统进入洁净室。洁净室是受控制的环境，其中温度/湿度、压力和颗粒物的控制对于最佳操作性能至关重要。洁净室是根据特定工艺所需的清洁度进行设计的。在进行微芯片制造的半导体行业中，空气过滤具有更高的效率，因为微芯片对颗粒非常敏感，尤其是在处理晶片时会楔入晶片上导电电路之间的小颗粒。
高效微粒空气雷竞技软件大全（HEPA）-这些雷竞技软件大全在污染控制方面非常有效。它们过滤小到0.3微米的颗粒，广泛用于制药设施。ULPA（超高颗粒空气雷竞技软件大全）可过滤0.12微米以下的颗粒，广泛用于半导体设备。
雷竞技软件大全在洁净室中的重要性
通过几个活动管理洁净室内的污染控制高效空气雷竞技软件大全或UPLA雷竞技软件大全在洁净室中的作用至关重要。高效微粒空气（HEPA）雷竞技软件大全的效率最高必须达到99.97%穿透颗粒，0.3微米。该效率评级由美国能源部于以成为真正的高效空气雷竞技软件大全。
高效空气雷竞技软件大全规格
根据大多数美国人采用的美国能源部（DOE）标准的定义工业中，高效空气雷竞技软件大全在直径雷竞技软件大全对气流的最小阻力或压降通常规定在300帕斯卡（0.044磅/平方英寸）。
欧盟使用的规范：欧洲标准EN 1822-1:2009定义了HEPA雷竞技软件大全的类别，通过其在给定的最具穿透性的颗粒尺寸（MPPS）下的保持力。
根据GMP，雷竞技软件大全必须无泄漏。根据ISO 14644-3，通过鉴定和定期进行泄漏测试来验证这一点。高效空气雷竞技软件大全结构、性能、标签和认证的推荐做法由环境科学研究所维护以及美国保险商实验室（UL）。主要要求包括：
■ IEST-RP-C021“测试HEPA和ULPA介质，该介质管理雷竞技软件大全的要求媒体
■ IEST-RP-CC001“高效微粒空气雷竞技软件大全和超微粒空气雷竞技软件大全”，管理整个雷竞技软件大全结构和标签要求
■ IEST-RP-C034“HEPA和ULPA雷竞技软件大全泄漏测试，适用于HEPA和UL PA雷竞技软件大全渗透（泄漏）试验
■ 符合UL900可燃性要求的测试和认证
■ 美国标准MIL-STD-282
其他测试标准包括：
■ ISO 14644-3试验方法——合格者在安装雷竞技软件大全泄漏试验过程中使用
■ ISO 29463（2017）-用于去除空气中颗粒的高效雷竞技软件大全和过滤介质
■ ISO 16890（2017）-一般通风用空气雷竞技软件大全
■ PIC/s PI 032-2 GMP指南
■ 高效微粒空气雷竞技软件大全/超微粒空气雷竞技软件大全制造商使用的EN1822
高效雷竞技软件大全的检漏是非常重要的一项工作，在国家GMP 相关法规标准里面也提出了明确的要求，要定期对高效雷竞技软件大全进行检漏。
